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顯微激光測振儀
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顯微激光測振儀是一款全新的集多功能于一身的非接觸式振動(dòng)測量儀器,也是一款可視化顯微測量分析的理想工具。它可以通過顯微光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對微小物體的振動(dòng)測量,可以精確測量MEMS等微小結(jié)構(gòu)元器件的振動(dòng)狀態(tài)(頻率、速度、加速度、位移等信息),激光光斑達(dá)微米量級,并可通過顯微成像系統(tǒng)實(shí)時(shí)精確定位被測點(diǎn)位置。
特點(diǎn):
- 非接觸測量,無負(fù)載
- 激光光斑極小,微米級
- 優(yōu)越的帶寬和動(dòng)態(tài)范圍
- 高空間分辨率
- 工作距離可選
- 高靈活性、易安裝、易操作
- 振動(dòng)傳感器結(jié)構(gòu)緊湊、性能穩(wěn)定、抗外力沖擊、測量精度高
- 配有同軸照明裝置和相機(jī),可以方便迅速地確定測量位置。
技術(shù)參數(shù):
LV-S01-M 光學(xué)頭參數(shù)
尺寸( L*W*H )
454.8 × 270 × 643mm
重量
5kg
聚焦方式
手動(dòng)聚焦
激光波長
He-Ne laser 632.8nm
激光功率
< 2mW
工作距離
0.35m-20m( 取決于被測物體表面)
LV-S01-M 控制箱參數(shù)
尺寸( L*W*H )
450 × 421 × 149mm
重量
8kg
最大測量速度
± 10m/s
最大測量位移
± 2m
輸出電壓范圍
± 10V
頻率范圍
DC ~ 3MHz
DC ~ 25MHz
濾波設(shè)置
高通、低通濾波,跟蹤濾波
最大線性誤差
<± 1%
速度分辨率
優(yōu)于 0.01 μ m/s/ √ Hz
位移分辨率
優(yōu)于 1pm
模擬輸出
BNC 接口輸出
數(shù)字輸出
RJ45 千兆以太網(wǎng)口
低通濾波器
2kHz,10kHz,20kHz,40kHz,80kHz,160kHz,320kHz,1MHz,3MHz(VD-18/DD-27 解碼器 )/
100kHz,1MHz,2MHz,4MHz,10MHz,25MHz(DD-25M 解碼器 )
跟蹤濾波器(選配)
Slow , Medium , Fast , Off
信號電平顯示
反光信號強(qiáng)度顯示、 DC 電壓信號輸出( BNC 接口, 0…5V )
顯示
帶交互式菜單引導(dǎo)設(shè)置的彩色屏
工作溫度
+3 °C … +45 °C
存儲(chǔ)溫度
-10 °C … +65 °C
相對濕度
<90%
供電電源
100...240 VAC±10 %, 50/60 Hz
防護(hù)等級
IP54