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顯微激光測振儀

顯微激光測振儀是一款全新的集多功能于一身的非接觸式振動測量儀器，也是一款可視化顯微測量分析的理想工具。它可以通過顯微光學(xué)系統(tǒng)實現(xiàn)對微小物體的振動測量，可以精確測量MEMS等微小結(jié)構(gòu)元器件的振動狀態(tài)（頻率、速度、加速度、位移等信息），激光光斑達微米量級，并可通過顯微成像系統(tǒng)實時精確定位被測點位置。

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